正文

氟化物標(biāo)準(zhǔn)溶液:用無分度吸管吸取氟化鈉標(biāo)準(zhǔn)貯備液10.00mL,注入100mL容量瓶中,稀釋至標(biāo)線,搖勻。此溶液每毫升含氟離子10ug。

氟化氫的水溶液稱氫氟酸,是一種弱酸。

技術(shù)應(yīng)用

氟化物溶液腐蝕后硅表面形態(tài)的STM與XPS研究

利用掃描隧道顯微技術(shù)(STM)和X射線光電子能譜(XPS)技術(shù),研究了Si(111)在幾種不同比例的NH4FHCl溶液中被腐蝕后的表面形態(tài)及潔凈度。通過分析表面的STM圖像與XPS譜圖,表明在較高pH值的NH4FHCl溶液中被腐蝕的Si(111)表面粗糙度較小,且表面潔凈度及化學(xué)穩(wěn)定性較好.

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