名稱

三維形貌測量系統(tǒng)

三維形貌測量系統(tǒng)

參數(shù)

主要技術(shù)指標：

● 光源：150W光纖冷光源

● 有效測量范圍：

細觀：X、Y方向的有效測量范圍：0.5×0.7mm2～5×7mm2

X、Y方向的測量分辨力：0.5um～5.0um

深度（Z）方向測量范圍： 0.5um~300um(最大放大倍數(shù))~5um~3mm( 最小放大倍數(shù))

Z方向測量分辨力： 0.01um(最大放大倍數(shù))～0.1um(最小放大倍數(shù))

宏觀：X、Y方向的有效測量范圍：100×140mm2～ 1000×1400mm2

X、Y方向的測量分辨力：0.1mm～1.0mm

深度（Z）方向測量范圍：30mm~300mm

Z方向測量分辨力：0.01mm～0.1mm

● 分辨率： 1/20光柵節(jié)距

● 顯示速率：25幀/s

● 細觀測量：采用10 倍手動變焦鏡頭

● 軟件：相移三維變形測量軟件

● 圖像分辨率：1280×1024(細觀 2560×1920）