基本信息

南方基地依托單位為中科院上海微系統(tǒng)與信息技術研究所。

北方基地依托單位為中科院電子學研究所。

四個專業(yè)點分別是光傳感器專業(yè)點(設在中科院上海技術物理研究所)、厚膜傳感器專業(yè)點(設在中科院合肥智能機械研究所)、氣敏傳感器專業(yè)點(設在中科院半導體研究所)、生物傳感器專業(yè)點(設在中科院微生物研究所)。

實驗室已通過1993、1997、2002年三次評估。

2011年11月1日[1],科技部根據《國家重點實驗室建設與運行管理辦法》和《國家重點實驗室評估規(guī)則》的精神,2012年將對信息領域的國家重點實驗室,“傳感技術國家重點實驗室(中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術研究所、中國科學院電子學研究所)”進行評估,2012年信息領域國家重點實驗室評估的具體工作委托國家自然科學基金委員會承擔。

北方基地

1. 領域總體介紹

傳感技術國家重點實驗室(北方基地)[2]成立于1987年。實驗室面向國家戰(zhàn)略需求和世界科技前沿,以基于微電子和微機械加工技術的微傳感器和系統(tǒng)作為主要研究方向,開展基礎性、戰(zhàn)略性、前瞻性的研究工作。實驗室致力于提高我國傳感技術的自主創(chuàng)新能力和國際競爭力,推動我國傳感技術的應用和產業(yè)的發(fā)展,為國民經濟建設服務,并建設我國傳感技術的研究基地和高素質、高水平傳感技術人才的培養(yǎng)基地。

傳感技術國家重點實驗室(北方基地)側重進行傳感器的新原理、新方法、新技術、新器件、新系統(tǒng)的研究,實現(xiàn)傳感器的微型化、集成化、智能化和網絡化。實驗室自建立以來得到了迅速發(fā)展。先后承擔和完成了“973”、“863”、國家自然科學基金、國家科技攻關等一批國家級科研項目,在新型傳感器和微系統(tǒng)研究領域取得了一批有特色、高水平的創(chuàng)新性研究成果。

2. 主要技術優(yōu)勢

傳感技術國家重點實驗室(北方基地)經過二十余年的建設和奮斗,在微納傳感器及微系統(tǒng)的研究中獲得巨大進展,取得了突出成績,逐步形成了以基于微納加工技術的微傳感器和微系統(tǒng)為主要創(chuàng)新方向的研究特點,具有電子學、信息技術、生物技術、化學、材料科學等多學科交叉的綜合優(yōu)勢,并已成為國內外廣泛認可、具有一定國際影響力和較強競爭力的傳感技術研究基地,同時形成了具有一流人才與完整學術梯隊以及先進儀器設備與科研條件的國家級研究基地。

實驗室現(xiàn)有面積3500多平方米,其中500平米超凈間,擁有一條完整的微電子機械系統(tǒng)(MEMS)加工工藝線,具有先進的工藝和測試設備,形成了一整套加工工藝規(guī)范,具備各種微結構器件的加工能力。實驗室已研制出一批具有特色的高水平傳感器及系統(tǒng),如電場傳感器及系統(tǒng)、SPR生化分析儀、生物傳感器及系統(tǒng)、氣體傳感器及系統(tǒng)、微流控芯片系統(tǒng)、集成氣象傳感器、高精度壓力傳感器、微慣性傳感器等,具有雄厚的研究基礎和很強的技術攻關與自主創(chuàng)新能力。

3. 主要的科研工作

(1)微電子機械系統(tǒng)(MEMS)加工與封裝技術

(2)實驗室芯片(Lab-on-Chip)與微全分析系統(tǒng)(μTAS)

(3)生物微傳感器集成化芯片系統(tǒng)(SOC)

(4)多參數(shù)血液檢測微系統(tǒng)

(5)表面等離子體諧振(SPR)生化分析儀

(6)?;窓z測氣體傳感器

(7)污染監(jiān)測生化微傳感器

(8)便攜式離子遷移率譜儀(IMS)

(9)電場傳感器

(10)高精度壓力傳感器

(11)微型加速度傳感器和陀螺儀

(12)溫濕壓集成氣象傳感器

(13)新型集成光學傳感器

(14)無線傳感器網