來(lái)源

等離子體光譜

從等離子體內(nèi)部發(fā)出的從紅外到真空紫外波段的電磁輻射譜。它攜帶了大量有關(guān)等離子體復(fù)雜的原子過(guò)程的信息。利用光譜學(xué)的原理和實(shí)驗(yàn)技術(shù),并借助于等離子體的理論模型,測(cè)量分析等離子體光譜,對(duì)于等離子體的研究是有重要意義的。

包括

美國(guó)利曼Leeman Prodigy

等離子體光譜主要是線狀譜和連續(xù)譜。線狀譜是等離子體中的中性原子、離子等由其高能級(jí)的激發(fā)態(tài)躍遷到較低能級(jí)時(shí)所產(chǎn)生的,單個(gè)粒子發(fā)射的譜線強(qiáng)度主要決定于:①原子或離子的外層電子處于上能級(jí)的幾率,②這種電子從上能級(jí)躍遷到下能級(jí)的躍遷幾率,③光子在逸出等離子體之前被再吸收的幾率。但譜線的總強(qiáng)度與電子和離子的密度和溫度有關(guān),每條譜線有它自己的強(qiáng)度分布規(guī)律,因此從譜線強(qiáng)度的測(cè)量,結(jié)合理論模型和上述光譜中的原子數(shù)據(jù),可以得到電子、離子的密度、溫度等信息。根據(jù)多普勒效應(yīng),從譜線波長(zhǎng)的移動(dòng)可確定等離子體的宏觀運(yùn)動(dòng)速度。連續(xù)譜是電子在其他粒子的勢(shì)場(chǎng)中被加速或減速而產(chǎn)生的。從連續(xù)光譜強(qiáng)度的測(cè)量,也可得到電子密度、溫度等數(shù)據(jù)。

變化

等離子體光譜

隨著等離子體溫度的升高,如到達(dá)10度以上,原子的外層電子逐漸被剝落,形成各種離子態(tài)的離子,如CⅣ、CⅤ、OⅥ、NⅤ、FeⅪⅩ、TiⅪⅩ(Ⅰ為中性原子,Ⅱ、Ⅲ、Ⅳ、…為失去 1、2、3、…個(gè)外層電子的離子)等。這些高次電離的離子,其線狀譜大都處在遠(yuǎn)紫外波段。連續(xù)譜的情形,也是隨著溫度的升高,其發(fā)射強(qiáng)度的極大值往短波方向移動(dòng)。對(duì)于高溫等離子體,如目前聚變高溫等離子體,其工作物質(zhì)是氫及其同位素氘和氚,但不可避免地會(huì)含有一些雜質(zhì),如C、O、Fe、Ti、Mo、W等元素,溫度已達(dá)10度以上,這些雜質(zhì)離子的光譜大部分是在真空紫外及 X射線波段。分析這些較重雜質(zhì)的高次電離譜線的出現(xiàn)時(shí)間和位置,比較它們的強(qiáng)度,對(duì)這樣高的溫度的等離子體的參量測(cè)量、輸運(yùn)過(guò)程和等離子體的輻射損失等的研究都是很重要的。尤其是對(duì)類(lèi)氫、類(lèi)氦離子的譜線強(qiáng)度的分析,更為有用,因?yàn)閷?duì)于這些離子的原子數(shù)據(jù)較為完全。

形狀

等離子體光譜

等離子體光譜的另一個(gè)重要方面,是譜線的形狀或輪廓。光譜線并不是“線”,而是有一定寬度的輪廓。在等離子體光譜中,譜線增寬的機(jī)制較復(fù)雜,其中有兩個(gè)因素比較重要,就是多普勒效應(yīng)和斯塔克效應(yīng)。等離子體中的各種粒子處于無(wú)規(guī)熱運(yùn)動(dòng)狀態(tài),它們相對(duì)于觀察者具有各種方向和大小的速度,就會(huì)產(chǎn)生多普勒頻移,因此,所發(fā)射的光譜線不再是“線”,而是按波長(zhǎng)的某種分布,即譜線“變寬”了,這就是多普勒增寬。多普勒增寬同離子速度分布有關(guān),如這種離子的速度呈麥克斯韋分布,則與其離子溫度有關(guān)。用多普勒增寬測(cè)量高溫等離子體中的離子溫度是一種常用的方法,離子溫度可用下式計(jì)算: ,

式中k為玻耳茲曼常數(shù),Ti為離子溫度,A為所測(cè)原子或離子的原子量,墹λ為譜線輪廓在半高度處的寬度。計(jì)算時(shí)要扣除其他因素引起的增寬。

效應(yīng)

另一個(gè)重要效應(yīng)是斯塔克效應(yīng)。等離子體中的每個(gè)發(fā)光粒子都處于其他粒子所帶電荷產(chǎn)生的電場(chǎng)中,由于電場(chǎng)的作用,這個(gè)粒子所發(fā)射的光譜發(fā)生分裂,這就是斯塔克效應(yīng)。分裂情況同等離子體中的粒子密度有關(guān)。帶電粒子產(chǎn)生的微觀電場(chǎng)是復(fù)雜的,引起各式各樣的斯塔克分裂,疊加的結(jié)果,使光譜線變寬,形成斯塔克增寬。在溫度較低(幾個(gè)電子伏)、密度較高(大于10τm )的等離子體中,常用斯塔克增寬來(lái)測(cè)量電子密度。的斯塔克增寬理論較為完整,理論指出這類(lèi)斯塔克增寬譜線輪廓的半高全寬度與成正比,Ne為等離子體的電子密度。

聚變裝置的高溫等離子體往往處于強(qiáng)磁場(chǎng)中,會(huì)引起光譜線分裂,這就是光譜學(xué)中熟知的塞曼效應(yīng)。在一些大型聚變裝置中,磁場(chǎng)強(qiáng)度為幾個(gè)特斯拉(T),分裂正比于磁場(chǎng)強(qiáng)度B和波長(zhǎng)λ的二次方的乘積,如

時(shí),則塞曼分裂

。根據(jù)譜線塞曼分裂的大小可推算等離子體中的磁場(chǎng)強(qiáng)度。

輻射

如上所述,測(cè)量等離子體的輻射,如譜線強(qiáng)度、譜線輪廓以及譜線的分裂、位移等后,就可以得到等離子體的一些參量,如等離子體成分、溫度、密度等。這方面的工作構(gòu)成等離子體光譜診斷學(xué),是等離子體診斷學(xué)的一個(gè)重要組成部分。

相關(guān)知識(shí)

特點(diǎn)

光學(xué)系統(tǒng):全新豎式光室設(shè)計(jì),全封閉驅(qū)氣型,采用精密溫控恒溫系統(tǒng),高能量中階梯光柵石英棱鏡交叉色散內(nèi)光路,波長(zhǎng)和級(jí)次二維色散,所有光學(xué)元件均使用全反射球面鏡,保證高光通量和低圖象失真。

光柵:采用超高分辨干涉刻制技術(shù),52.91條/mm,63.5?閃耀角

棱鏡:交叉色散,采用雙通過(guò)設(shè)計(jì)確保成像質(zhì)量,9.5?角,超純紫外熔融石英

波長(zhǎng)覆蓋:

全波長(zhǎng)覆蓋,Al 167.120nm測(cè)試可獲得更高紫外靈敏度,對(duì)于K 766.490nm和Na 818.326nm長(zhǎng)波同樣性能優(yōu)異

焦距: 383nm,緊湊型光室

分辨率

0.007nm在200nm處的光學(xué)分辨率,采用大衍射角高的光譜級(jí)次,在短焦距下可獲得高分辨率

光路:驅(qū)氣型光室,可以是氬氣或者氮?dú)?,?qū)氣量

分鐘,典型1L/分鐘即可獲得優(yōu)異的紫外性能,特別對(duì)于As和P的測(cè)定。外光路設(shè)計(jì),對(duì)于垂直炬可選擇觀測(cè)高度,對(duì)于雙向炬可選擇觀測(cè)方式

波長(zhǎng)校準(zhǔn):采用C、N和Ar線自動(dòng)波長(zhǎng)校準(zhǔn)程序,確保長(zhǎng)期波長(zhǎng)穩(wěn)定性

光室恒溫:

精密光室恒溫,恒溫速度小于20分鐘檢測(cè)器

新一代RACID86電荷注入式檢測(cè)器(CID)是高性能的固體成像系統(tǒng)。熱電的CID是能夠傳輸高反差/低噪音圖象的加強(qiáng)型電荷傳輸器件,它可以對(duì)分析范圍內(nèi)的所有波長(zhǎng)進(jìn)行定性定量,而決無(wú)電荷溢出(Blooming)現(xiàn)象。

檢測(cè)器模式:隨機(jī)讀取積分(RAI)

經(jīng)選擇的分析波長(zhǎng)以最佳信噪比的方式同時(shí)積分,這樣光所產(chǎn)生的電荷量可以保持在CID的線性范圍內(nèi)。它是利用了CID所獨(dú)有的非破壞性讀取(NDRO) 功能而獲得的。NDRO 允許觀測(cè)任意曝光點(diǎn)的任何像數(shù)單元上的信號(hào)。在這種方式下,像數(shù)與像數(shù)之間的讀出頻率隨著發(fā)射強(qiáng)度的實(shí)時(shí)觀測(cè)而各不相同,因而得到最寬的動(dòng)態(tài)范圍線性。

陣列尺寸: 291,600個(gè)獨(dú)立尋址檢測(cè)單元,

陣列連續(xù)覆蓋所有可用波長(zhǎng)

像數(shù)尺寸:

量子化效率: 200nm紫外區(qū)可達(dá)65%以上

石英窗:前置成角度封閉式石英窗,提高CID可靠性并降低雜散光

檢測(cè)器冷卻:高效三級(jí)半導(dǎo)體制冷,制冷溫度-45℃,冷卻時(shí)間小于3分鐘,氣體和冷卻水安全連鎖

等離子體觀測(cè):

觀測(cè)方式

垂直觀測(cè):等離子體使用高效氟化鎂涂層鏡子以垂直模式直接觀測(cè)。入射光經(jīng)封閉驅(qū)氣的外光路,防腐蝕并可獲得最佳的紫外區(qū)光譜性能。觀測(cè)高度可以由軟件自動(dòng)最佳化,也可由操作者進(jìn)行選擇。

雙向觀測(cè):等離子體可以水平觀察以適應(yīng)于最低檢出限的應(yīng)用要求,通過(guò)附加的垂直觀測(cè)方式減少基體效應(yīng)。兩種觀察方式可以由計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制。觀察方式的選擇可以是全垂直、全水平或根據(jù)譜線靈活選擇。

自動(dòng)準(zhǔn)直水平觀測(cè)中心通道。

獨(dú)特的SiN錐接口技術(shù)有效去除尾焰,并且保持良好的紫外性能。

等離子體源:固態(tài)RF發(fā)生器

頻率: 27.12MHz

操作模式:全自動(dòng)軟件控制點(diǎn)火與操作,直接耦合變頻阻抗控制自動(dòng)調(diào)諧。功率穩(wěn)定性?xún)?yōu)于0.1%

功率輸出:

(確認(rèn)值1500),計(jì)算機(jī)控制連續(xù)可調(diào)

輸出效率:大于78%,適用于包括甲醇等有機(jī)樣品在內(nèi)的各種樣品分析

冷卻方式:水冷和風(fēng)冷

進(jìn)樣系統(tǒng):

霧化器:玻璃同心圓霧化器

SeaSpray高鹽霧化器、V型槽霧化器、耐HF酸霧化器和超聲霧化器可選配

霧化室:玻璃漩流霧化室,配置垂直和水平不同的連接管

蠕動(dòng)泵:高精度12滾輪3通道蠕動(dòng)泵,0-125轉(zhuǎn)/分鐘連續(xù)可調(diào)。當(dāng)?shù)入x子體熄火時(shí)處于Standby狀態(tài)防止泵管損壞。

炬管

:配置1.5mm垂直或2.0mm水平中心管的可拆卸式石英炬管??蛇x配1.0,1.5,2.0mm石英中心管和2.0mm耐HF酸剛玉中心管。預(yù)準(zhǔn)直卡式炬管設(shè)計(jì),方便快速更換,無(wú)需拆卸冷卻氣和輔助氣氣管。

氣體控制:霧化器氣體,冷卻氣和輔助氣三路獨(dú)立氣體控制

霧化器氣體:采用MFC質(zhì)子流量計(jì)控制,連續(xù)可調(diào)。

冷卻氣: 12L/分鐘

輔助氣: 0,0.5,1.0,1.5L/分鐘可調(diào)

操作系統(tǒng):Microsoft WindowsTM 2000或XP

iTEVA軟件:iCAP6000系列的iTEVA操作軟件提供對(duì)儀器所有功能全控制,包括等離子體點(diǎn)火,氣體流量,觀測(cè)方式和安全連鎖的監(jiān)控。

日常分析軟件:在任何像數(shù)位置或指定的子陣列區(qū)域中進(jìn)行定量分析

自動(dòng)或手動(dòng)實(shí)時(shí)背景校正點(diǎn)選擇

缺省的系統(tǒng)參數(shù)設(shè)置和全過(guò)程程序的執(zhí)行

對(duì)于垂直觀測(cè),用戶(hù)可選等離子體觀測(cè)區(qū)域或全自動(dòng)最佳化

分析過(guò)程中子陣列數(shù)據(jù)采集,用于條件優(yōu)化后的數(shù)據(jù)后處理

多重光譜圖疊加顯示方式,簡(jiǎn)化方法的開(kāi)發(fā)

全譜“指紋”攝譜研究模式:

拍攝整個(gè)發(fā)射光譜或部分譜圖,以彩色或灰度顯示發(fā)射強(qiáng)度,2D線性或?qū)?shù)(強(qiáng)度與波長(zhǎng))顯示

全譜線或峰值識(shí)別,全互動(dòng)式譜線庫(kù),評(píng)價(jià)潛在的譜線干擾,進(jìn)行元素定性分析

同一材料的全譜圖比對(duì)和基體或空白的減扣模式

自動(dòng)進(jìn)樣器模式:全兼容自動(dòng)進(jìn)樣器使得無(wú)人操作和關(guān)機(jī)?;贖TML樣品文件,靈活控制定制樣品放置位置。

質(zhì)量控制檢查:針對(duì)于QC表,自動(dòng)檢查QC樣確保整個(gè)測(cè)試過(guò)程的重復(fù)性和準(zhǔn)確度

校正模式:多點(diǎn)校正曲線,每條校正曲線的標(biāo)準(zhǔn)點(diǎn)不受無(wú)限制

可選擬合類(lèi)型:線性,曲線, 全擬合,

曲線擬合顯示:線性或?qū)?shù),自動(dòng)調(diào)節(jié)量程

報(bào)告軟件:標(biāo)準(zhǔn)報(bào)告格式,用戶(hù)可根據(jù)樣品名稱(chēng)、方法名稱(chēng)、日期、時(shí)間、元素、濃度、強(qiáng)度、平均值、標(biāo)準(zhǔn)偏差、相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)偏差等來(lái)過(guò)濾報(bào)告輸出。使用第三方軟件定制報(bào)告生成,兼容SQL服務(wù)器,DDE-格式數(shù)據(jù)庫(kù)等無(wú)限制數(shù)據(jù)庫(kù)功能

可選格式:分析數(shù)據(jù)可以復(fù)制到商用用戶(hù)數(shù)據(jù)管理器,如電子表格,Word文字處理,圖形程序等。

兼容附件:iCAP 6300可以兼容包括標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)樣系統(tǒng)、有機(jī)和揮發(fā)性有機(jī)進(jìn)樣系統(tǒng)、高鹽進(jìn)樣系統(tǒng)和耐HF酸進(jìn)樣系統(tǒng)在內(nèi)的所有進(jìn)樣附件包。另外兼容:

自動(dòng)進(jìn)樣器: Cetac ASX260、ASX520、EXR-8智能化自動(dòng)進(jìn)樣器

超聲霧化器: Cetac U5000AT+,對(duì)于水樣的靈敏度可提高10-15倍

氫化物發(fā)生器:在線-氫化物組件分樣品、硼氫化鈉和廢液獨(dú)立通道,可 使As、Sb、Bi、Hg、Sn和Te的靈敏度提高8-10倍